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박막 증착 장비인 MOCVD 시스템 set-up 완료
게시자 조은진 등록일 2021. 4. 13 15:59

 



물리학과 곽진성 교수의 LDMD 연구실은(Low-Dimensional Materials & Devices) 최근 유기금속화학증착(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition; MOCVD) 장비를 도입하였고 소속 대학원생들과(정은비 박사과정, 조민준 석사과정, 그리고 하지원 학석연계과정생) 함께 장비 set-up을 완료하였습니다. 

본 장비는 고온의 기판 위에 전구체 가스를 유출시켜 그 표면상에서 분해 반응을 유도하여 박막을 형성하는 장치입니다. 

차후 전자재료용 박막 또는 이차원 소재 성장에 활용할 예정입니다. 관심있는 학부생 및 대학원생은 

아래 주소로 연락 주시면 견학 가능합니다(jkwak@changwon.ac.kr). 많은 참여 부탁드립니다.

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