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다양한 환경에서 기체 분석이 가능한 UGA 도입
게시자 조은진 등록일 2021. 4. 29 17:46

 




물리학과 곽진성 교수의 LDMD(Low-Dimensional Materials & Devices)연구실은 최근 잔류가스분석기(Universal Gas Analyzer; UGA) 장비를 도입하였고 

소속 대학원생들과(정은비 박사과정, 조민준 석사과정, 그리고 하지원 학석연계과정생) 함께 set-up을 완료하였습니다. 

이 시스템은 이차원 소재나 박막의 성장 및 공정 과정에서 process chamber 내 잔류기체 종류를 실시간으로 관찰 할 수 있습니다. 

그래서 이 장비를 이용하여 성장되는 다양한 나노 소재의 atomic-level growth mechanism을 규명하는데 활용 할 예정입니다. 

관심있는 학부생 및 대학원생은 아래 주소로 연락 주시면 견학 가능합니다. 많은 참여 부탁드립니다(jkwak@changwon.ac.kr).

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