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국립창원대 조영태 교수 연구팀, KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지 금상 수상
“웨이퍼 세정 챔버 벽면 비산·재오염 방지 기술로 전문가 그룹 부문 수상” 
국립창원대학교는 기계공학대학 스마트제조융합과 및 스마트제조융합협동과정 조영태 교수 연구팀이 ‘제11회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’ 전문가 그룹 부문에서 금상(상금 800만 원)을 수상했다고 밝혔다.
이번 수상에는 조영태 교수의 지도 아래 스마트제조융합협동과정 ▲윤채혁(석·박사통합과정) ▲윤성민(박사과정) ▲윤서나(박사과정) ▲박서림(박사과정) ▲김명서(박사과정) ▲한유주(박사과정) ▲김영재(학·석사연계과정) ▲김동주(학사과정) 학생이 함께 참여했다.
KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지는 대한기계학회와 세메스㈜가 공동 주최하는 아이디어 공모전으로, 학계의 창의적 아이디어를 산업 현장의 미해결 과제와 연결해 기업에 새로운 솔루션을 제시하는 것을 목표로 한다.
연구팀은 ‘저점착 오가노겔 표면을 이용한 웨이퍼 세정 챔버 벽면 비산·재오염 방지 기술’을 주제로 아이디어를 제안해 KAIST, 연세대 등 국내 주요 대학 연구팀과의 경쟁 속에서 우수한 성과를 거뒀다.
제안 기술은 웨이퍼 세정 챔버 벽면에 저점착 오가노겔 기반의 미끄러운 표면을 적용한 것이 핵심이다. 웨이퍼 고속 회전 과정에서 튀어 오른 세정액 액적이 벽면에 충돌하더라도 잔류하지 않고 곧바로 흘러내리도록 유도해, 벽면에서의 2차 비산과 액적 잔류로 인한 웨이퍼 재오염을 동시에 억제한다. 이를 통해 챔버 세정 주기를 연장하고 공정 수율을 높일 수 있을 것으로 기대된다.
조영태 교수는 “이번 수상은 우리 대학이 축적해 온 스마트제조 분야 연구 역량과 학생들의 도전 정신이 만들어낸 결실”이라며 “앞으로도 학문적 성과가 산업 현장의 실질적인 혁신으로 이어질 수 있도록 연구를 확대해 나가겠다”고 말했다.
*사진: 저점착 오가노겔 표면을 이용한 웨이퍼 세정 챔버 벽면 비산·재오염 방지 기술 및 연구팀 이미지. 끝.
내용 문의 : AI-연구처 DNA+연구소(055.213.2876)
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